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單晶爐
文章出處：英智科技 人氣：發(fā)表時(shí)間：2017-10-27 15:42
單晶爐是一種在惰性氣體（氮?dú)?、氦氣為主）環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。
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